鄭振華主任

1968年-
清大原子科學研究所鄭振華所長兼任主任(第一任)

張去疑主任

1971年-
張去疑教授接任第二任

汪一彪主任

國科會精儀中心

1975~1976

蘇青森主任

國科會精儀中心

1976~1987

王大庚主任

國科會精儀中心

1987~1993

黃文雄主任

國科會精儀中心

1993~2000

陳建人主任

國研院儀科中心

2000~2008

蔡定平主任

國研院儀科中心

2008~2012

葉哲良主任

國研院儀科中心

2012~2017

楊燿州主任

國研院儀科中心

2017~Present